技术参数

Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr（C）、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2

Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr（c）、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q

传感器

测量原理

电感式

测量范围

400μm

针尖半径

5μm

针尖材料

金刚石

触针测力

4mN

触针角度

90°

导头纵向半径

45mm

大驱动行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

±25μm

0.001μm

±200μm

0.008μm

滤波方式

GAUSS、2RC、ISO13565

取样长度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自动

评定长度

1L～5L（可选，L为取样长度）

示值误差

±10%

示值重复性

≤6%

工作环境

温度：0ºC～40ºC

相对湿度：＜90%RH

外型尺寸及重量

主机：155.4mm×75mm×53mm，约580g；

驱动器：120.5mm×25.5mm×28.5mm，约165g

电源

内置电池：锂离子充电电池；

电源适配器：输入：100V240VAC，50/60Hz；

输出：9V，3A。